凭借外星科技建立星海王朝第244章 沈院士视察

楚千澜看着曲峰发来的信息眉头微挑。

前几天说好的15天后再来没想到才过去一周沈院士就主动来了。

略作沉思他快速回复曲峰：“你直接安排视察流程吧！让王世杰提前准备设备调试演示重点展示光刻机的基础校准流程。

光刻机是采购来的没有什么秘密可言只要不暴露女娲系统就可以。

” 虽然不知道沈院士有什么意图但深蓝半导体现在并没有什么秘密。

即便那些设备都算得上高精端但对于沈院士来说也就那样。

以他的地位更先进的设备应该都看到过。

大四学生开学只是象征性的的开了一个班会。

这一学期虽然还有几门课程但都并不重要若是有实习单位可以请假不上课到期末回来考试便可以了。

在班会上导员反复强调的是实习与毕业论文这才是大四下学期的重要内容。

班会结束后时间还早楚千澜径直驱车前往深蓝半导体。

刚驶入厂区就看到王世杰带着几名工程师在门口等候神色间带着几分紧张。

“楚总沈院士已经到了正在会议室等着。

”王世杰迎上来递过一份准备好的演示流程“我们按您的要求只准备了光刻机基础校准的演示剩余时间就是现场观看设备。

” 楚千澜接过流程扫了一眼点头道：“不用太紧张沈院士是来交流学习的不是来查技术机密的。

你让工程师正常安装调试就行不用刻意回避基础参数。

” 走进会议室沈国梁正带领一群研究所翻看深蓝半导体的厂区规划图看到楚千澜进来当即起身笑道：“楚总冒昧来访没打扰你们吧？” “沈院士客气了您能来指导我们求之不得。

”楚千澜侧身引路“光刻机刚完成初步安装正处于校准阶段附属设施进度还要更慢一些您要不要现在去看看？” 沈国梁眼中闪过期待：“好啊！早就想亲眼看看193nm深紫外光刻机的实际操作了。

” 一行人穿过洁净区走廊蓝色的防护服将所有人裹得严严实实只有眼睛露在外面。

光刻区内几名工程师正围着光刻机调试参数屏幕上跳动的数据流在昏暗的环境中格外醒目。

而在光刻机的周边还有很多设备正在定位安装。

沈院士忽然说道“楚总你们这台光刻机很新啊一点也不像二手的。

” 楚千澜顺着沈国梁的目光看向光刻机主体机身外壳的金属光泽均匀没有明显的使用划痕连接口处的防尘塞都还保持着完整。

“确实运气好这台设备是何兰厂商闲置的备用机05年生产到现在实际开机时长不到1000小时保养得比较到位。

” 沈国梁俯身观察光刻机的光学镜头保护罩“如此品质的设备鹰酱应该禁止对龙国出售运输。

能将其买回来贵公司应该费了不少精力吧！” 楚千澜闻言深有同感“这套设备我们花费3000万欧元而前前后期的各种准备我们就耗费了5000万龙国币！好在设备已经到手不算浪费精力！” 他并没有说明这价格还包含14台离子注入机。

沈国梁直起身目光带着一丝感慨：“3000万欧元加5000万龙国币这价格放在海外确实很高但能运回国内但放在国内也算是物有所值。

在国内拥有193nm深紫外光刻机你们的水准已经超过九成同类企业。

” 他忽然指向光刻机旁的校准仪器“这台激光干涉仪是蔡司的最新款吧？用来校准工作台的定位精度误差能控制在多少？” 王世杰上前一步语气带着几分自豪：“目前初步校准后定位误差稳定在±0.02微米后续经过精细调试能压缩到±0.015微米以内完全满足180nm制程的要求。

” 沈国梁眼中闪过一丝赞许伸手在仪器显示屏上轻点：“你们的校准流程很规范连环境温湿度的补偿参数都考虑到了。

不过要注意光刻机运行时会产生局部热量可能影响工作台的稳定性建议在周边加装恒温风道。

” 楚千澜点头记下：“多谢沈院士提醒我们后续会优化环境控制系统。

” 一行人沿着光刻区缓缓前行沈国梁时不时驻足询问设备参数从光源功率到曝光时间从晶圆台转速到光刻胶涂覆厚度每个问题都极为细致。

走到离子注入机安装区域时沈国梁看着正在拆解的设备零件忽然问道：“这些零件是在做故障维修？我刚才好像看到有工程师在记录参数是准备逆向研究？” 楚千澜坦然回应：“我们有两台离子注入机出现真空阀门故障我们一边维修一边记录零件参数后续计划基于这些数据尝试将零件本土化甚至逆向研发出设备。

” 沈国梁拿起一个拆解下来的密封圈对着灯光观察材质纹路：“这种氟橡胶密封圈的耐腐蚀性和密封性很关键国内能生产同级别产品的厂家不多你们若是有需要我可以推荐几家研究所对接。

” 楚千澜心中一喜：“那太好了！正愁找不到靠谱的国产供应商有您的推荐能少走不少弯路。

” 沈国梁笑着摆手：“都是为了半导体国产化互相帮衬是应该的。

对了你们基于星象指令集的芯片研发什么时候能进入流片阶段？” 提到星象指令集楚千澜语气多了几分谨慎：“EDA工具的核心模块还在研发预计今年年中能完成全套工具链开发同步研发的嵌入式芯片应该会晚一点时间！” 沈国梁眼中闪过期待：“首款180nm纯国产芯片还真是让人期待啊！” 楚千澜轻笑一声“我也很想知道利用星象指令集设计出的芯片功耗与性能如何。

” 沈国梁略作沉吟“你们可以先设计几款市面已有的通用芯片我想办法给你拉些客户！” 喜欢凭借外星科技建立星海王朝请大家收藏：()凭借外星科技建立星海王朝20小说网更新速度全网最快。

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